又以无大虚空藏菩萨为本尊之修法，称为五大虚空藏法，多于祈求增益或天变时修之。
◎日光菩萨
日光菩萨，又作日光遍照，是药师佛的左胁侍，与右胁侍月光菩萨在东方琉璃国土中，并为药师佛的两大辅佐，也是药师佛国中无量菩萨众的上首菩萨。
日光菩萨的名号，是取自“日放千光，遍照天下，普破冥暗”的意思。此菩萨依其慈悲本愿，普施三昧，照耀法界俗尘，摧破生死暗冥，犹如目光之遍照世间，故取此名。
日光菩萨与观世音的大悲咒有着密切关系。持诵大悲咒者，日光菩萨当与无量神人来为作证，并增益其效验。凡是持诵大悲咒者，如能在持诵日光菩萨陀罗尼，当能得到日光菩萨的护持。
◎月光菩萨
月光菩萨，为药师如来的胁侍，又作月净菩萨、月光遍照菩萨。为上金刚界曼荼罗贤劫十六尊之一，胎藏界曼荼罗文殊院中的一尊。
《觉禅钞》引《药师经疏》卷一曾提到，过去世电光如来时，有一梵士医王，养育日照、月照二子，发心愿利乐众生，二子亦发愿供养。梵士医王即今日的药师如来，二子即日光、月光二菩萨。